IRを利用したMEMS乾燥処理における炭素排出の削減 MEMSセンサーを製造する際、ウェハ上の水分を除去するのは非常に難しい作業です。水分を取り除く必要はありますが、単純に熱を当てると、ウェハ全体が変形してしまいます。 そこで、私たちは短波長の赤外線ランプを使用します。赤外線は、部屋の空気や壁など...

ウェーハヒーターが爆発しないようにするために ウェーハヒーターを製造する際、私たちは熱的許容範囲について細かく注意を払います。しかし正直なところ、電気的絶縁が壊れてしまえば、どんなに精密に作っても意味がありません。 ヒーター部分にわずかな漏れがあっただけで、コントローラーが破損したり、一度に大量の...

ギャップを意識しよう：数ミリメートルがどのようにして炭素排出量を削減するか 半導体工場で炭素ニュートラルを達成するためには、ウェーハを加熱する際に無駄に消費されるエネルギーについて考えなければなりません。ほとんどの工場では、依然として古い方式の装置が使われており、それらはまるで部屋全体を温めるヒー...

ウェーハの硬化処理に無駄なエネルギーを使わないために ウェーハを硬化処理する際、無駄に消費されるワット数は、まさにお金の無駄です。また、それによって汚染のリスクも生じます。 硬化用のランプを考えてみてください。ランプは360度全方位にエネルギーを放出しますが、ウェーハは片側にしかありません。つまり...

ウェーハの温度を推測するのはやめましょう 「スマートファブ」を構築しようとしているなら、問題が発生した後に対処するのは大変なことだと気づいているはずです。今何が起きているかを即座に把握する必要があります。 しかし、ウェーハの計測においては、単純にサブストレートに熱電対を取り付けるわけにはいきません...

可燃性化学物質を加熱するときの安全対策 正直言って、化学液にウエハーを浸して加熱するのはとても危険な作業です。揮発性で可燃性の高い溶剤を扱う際には、失敗すれば大惨事につながります。ちょっとした火花や、不適切なタイミングで点灯する照明器具だけで、爆発のリスクが生じます。まさに悪夢のような状況です。...

ファブの現場では、ソフトベイクやハードベイクの際に0.1℃の温度変動があるだけで、ウェーハの特性が変わってしまい、スカムが発生したり、歩留まりが低下したりします。従来の乾燥装置では、熱的な急変後に生じるウェーハ間の温度差や粒子の発生を抑制するのが難しいです。私たちは、このような不確実性を排除するた...