300mmウェーハの均一加熱IR

300mmラインにおいて、ソフトベイクおよびハードベイクは単なる熱処理ステップではなく、歩留まり管理のゲートである。IR加熱が均一でなければ、ライン幅のばらつき、エッジビード、および洗浄に耐えるスカムが発生する。検査だけでこれを回避することはできない。温度プロファイルを根本から修正する必要がある。...