IRを利用したMEMS乾燥処理における炭素排出の削減 MEMSセンサーを製造する際、ウェハ上の水分を除去するのは非常に難しい作業です。水分を取り除く必要はありますが、単純に熱を当てると、ウェハ全体が変形してしまいます。 そこで、私たちは短波長の赤外線ランプを使用します。赤外線は、部屋の空気や壁など...

ウェーハの温度を推測するのはやめましょう 「スマートファブ」を構築しようとしているなら、問題が発生した後に対処するのは大変なことだと気づいているはずです。今何が起きているかを即座に把握する必要があります。 しかし、ウェーハの計測においては、単純にサブストレートに熱電対を取り付けるわけにはいきません...

可燃性化学物質を加熱するときの安全対策 正直言って、化学液にウエハーを浸して加熱するのはとても危険な作業です。揮発性で可燃性の高い溶剤を扱う際には、失敗すれば大惨事につながります。ちょっとした火花や、不適切なタイミングで点灯する照明器具だけで、爆発のリスクが生じます。まさに悪夢のような状況です。...

スマートセンサーのパッケージングラインにおいては、温度の均一性は単なる望ましい条件ではありません。それは、製品が正常に作動するか、廃棄されるかを分ける重要な要素です。エポキシ樹脂が硬化する際にウェーハ上の温度が1℃変動したり、蓋を密閉する際に熱点が生じたりすると、校正が乱れ、実際の使用時に故障が発...