ウェーハヒーターが爆発しないようにするために ウェーハヒーターを製造する際、私たちは熱的許容範囲について細かく注意を払います。しかし正直なところ、電気的絶縁が壊れてしまえば、どんなに精密に作っても意味がありません。 ヒーター部分にわずかな漏れがあっただけで、コントローラーが破損したり、一度に大量の...

なぜ、すべての加熱要素に対してストレステストを行うのか？ ファブ内で乾燥処理を行っていると、加熱要素は大きな負荷にさらされます。熱応力も非常に激しいです。絶縁体にわずかな穴が開いたり、クォーツチューブに微細なひび割れが生じただけでも、深刻な問題が発生する可能性があります。 だからこそ、私たちはリス...

もう、オーブンを待っている必要はありません。なぜなら、半導体製造においては赤外線が優れているからです。 依然として、多くの半導体製造ラインで熱風を利用して物質を加熱・乾燥させているのを見かけます。これは「昔から使われてきた確実な方法」ですが、正直なところ、非常に非効率的です。 問題は、空気では熱を...