ウェーハヒーターが爆発しないようにするために
ウェーハヒーターを製造する際、私たちは熱的許容範囲について細かく注意を払います。しかし正直なところ、電気的絶縁が壊れてしまえば、どんなに精密に作っても意味がありません。
ヒーター部分にわずかな漏れがあっただけで、コントローラーが破損したり、一度に大量のシリコンがダメになってしまうこともあります。それは本当に恐ろしい状況です。だからこそ、私たちは「ランダムサンプリング」を行わないのです。出荷する前に、すべての製品に対して高電圧耐力試験や絶縁抵抗試験を行います。
実際の検査方法
私たちは、通常の使用時よりもはるかに高い電圧をヒーターにかけてテストを行います。これにより、誘電体の破壊が起きないかを確認します。
セラミックコーティングに穴があったり、端子の接続が不完全だったりすると、電流が急上昇します。そのような欠陥は、ヒーターが50回の熱サイクルを経験する前に見つけ出されます。
なぜこんなに厳格にするのか
真空チャンバー内での一時的な短絡を修理しようとしたことがある人なら、それがどれほど大変かわかるでしょう。そういう問題は、人を苛立たせます。
メガオーム値を測定することで、絶縁層が十分に強固かどうかを確認します。もし高電圧耐力試験に合格しなければ、その製品は廃棄処分されます。壊れた絶縁層を修理することは不可能です。安全か、それとも廃棄物かのどちらかです。
知っておくべきトレードオフ
ここにはバランスを取る必要があります。
絶縁性能を高めると、より厚いコーティングが必要になります。そうすると、ヒーターとウェーハの間の熱抵抗が増してしまいます。結果、より安全な装置にはなりますが、起動時間が少し遅くなる可能性があります。重要なのは、安全性と速度の間の最適なバランスを見つけることです。
各製品のテスト結果を送ります。そうすれば、製品が工場に到着する前に、どれだけの漏れ電流があったかを正確に把握できます。