半導体クリーンルーム用トロリーアヒージャー

クリーンルーム内で使用するヒーターを安全に保つために（そしてウエハーを損傷から守るために） 半導体製造のクリーンルームでは、ミスの余地は一切ありません。輸送用トロリー用のヒーターを製造する際には、単に温度が均一かどうかだけでなく、電気的な漏れも懸念されます。わずかなアークや絶縁体の劣化があれば、大...