アプリケーションマテリアルズ製ツール用の赤外線ランプ

ウェハーを加熱する際、90℃という温度は単なる数値に過ぎず、実際には線幅制御のための熱的条件を示しているのです。フォトレジストの溶剤が残存する傾向を半度だけでも変えてしまうと、現像後になって初めて印刷上の欠陥が現れます。そのため、アプライドマテリアルズの装置用に、このような温度の変動を抑えるための...