可燃性化学物質を加熱するときの安全対策
正直言って、化学液にウエハーを浸して加熱するのはとても危険な作業です。揮発性で可燃性の高い溶剤を扱う際には、失敗すれば大惨事につながります。ちょっとした火花や、不適切なタイミングで点灯する照明器具だけで、爆発のリスクが生じます。まさに悪夢のような状況です。
そのため、私たちは単に照明器具を作るだけでなく、それを保護用のケースで覆います。電気的な部分を他のものから隔離し、周囲の雰囲気が災害を引き起こさないようにします。
品質が重要です。
容器としては高純度の石英ガラスを使用します。これは、大きな温度変化に耐えても割れないからです。しかし、本当に重要なのはシール部分です。化学物質の蒸気が接合部を侵食するのを防ぐため、電極部分にはガラスと金属のシールを使用します。さらに、端子部分を耐火性のある樹脂で覆います。これにより、腐食性のあるガスが、損傷を引き起こす可能性のある部分から遠ざけられます。
圧力の中でも冷静でいること。
もし加熱の強度が一定でなければ、ウエハーの処理自体がうまくいきません。私たちは出力値に非常に注意を払います。浴槽が過熱すると大きなリスクがあります。もし照明器具が過度に熱くなると、溶剤が早く沸騰してしまったり、最悪の場合は発火点に達してしまったりします。
これを防ぐために、ヒーターには精密なIRセンサーを組み合わせています。このセンサーはウエハーの表面の温度をリアルタイムで監視します。温度が上昇した場合、コントローラーが出力を調整します。とてもシンプルです。
注意すべき点。
このような追加の保護機能により、照明器具のサイズが少し大きくなります。通常の屋外用の照明器具にそのまま取り付けることはできません。保護用のケースを収めるための十分なスペースがあるかを確認する必要があります。また、シールによって照明器具の熱の逃げ方が変わるため、冷却ファンやヒートシンクが正常に機能しているかを確認する必要があります。もし密封された部分に熱が溜まると、樹脂が時間とともに劣化してしまいます。適切に冷却しておけば、長持ちします。