実際、触媒の乾燥処理というのは、単なる形式的な工程ではありません。これは熱管理が非常に重要なプロセスであり、その不備が原因で収率が低下することもあります。対流式オーブンでは温度が均一にならず、ホットプレートを使用する場合でもウェハ上に温度差が生じます。これにより、触媒の均一な塗布が不可能になり、ピ...

ライン上では、ペロブスカイト前駆体膜においては誤差の余地が全くありません。温度を±0.1℃以上に逸脱させたり、異物が混入したり、ベークプロファイルがずれたりすると、一気にバッチの再現性が失われます。誤解しないでください―歩留まりは後の検査工程ではなく、乾燥工程で決まります。 技術的に重要な点 この...