ASMLリソグラフィーランプのスペア部品

製造現場では、リソグラフィーランプの性能が低下すると、単に装置の動作が停止するだけでなく、デバイスの形状を決定する一連の工程も止まってしまいます。ランプの性能が低下すると、ソフトベイクやハードベイクのプロファイルが乱れ、フォトレジストの厚さも不安定になり、生産ラインでの再現性が失われます。ASML...