クリーンルーム内で使用するヒーターを安全に保つために（そしてウエハーを損傷から守るために）
半導体製造のクリーンルームでは、ミスの余地は一切ありません。輸送用トロリー用のヒーターを製造する際には、単に温度が均一かどうかだけでなく、電気的な漏れも懸念されます。わずかなアークや絶縁体の劣化があれば、大量のウエハーが破壊されたり、施設全体の電源が遮断されたりしてしまいます。誰にとっても最悪の状況です。
なぜすべての装置をテストするのか？
ここでは「ランダムサンプリング」は行いません。それは危険すぎます。代わりに、各ヒーター要素は、工場を出る前に必ず耐電圧試験と絶縁抵抗試験を受けます。つまり、実際に使用されるよりもはるかに高い電圧をかけて、絶縁体の性能を確認しているのです。セラミックに微細な欠陥や石英ケースに小さなひび割れがあれば、電流が流れてしまいます。そうした故障を実験室で早期に発見する方が良いのです。これが、ヒーターがトロリーのチassisから完全に隔離されていることを確認する唯一の方法です。
了解しておくべきトレードオフ
ガス放出を防ぐために、高純度の材料を使用しています。これはクリーンルームでは当然のことです。しかし、このような高い安全性と純度を実現するには、物理的なコストが伴います。これらの装置は、一般的な産業用ヒーターよりも少し大きくなります。厳格な絶縁試験をパスするためには、より厚い絶縁層が必要であり、その結果、ヒーター要素の幅も広くなります。必ずトロリーの取り付けブラケットをしっかり確認してください。すべてがしっかりと固定されているかを確認してください。
接続方法
装置が到着したら、次は配線の段階です。ここでも、接地処理をしっかり行う必要があります。たとえ私たちがテストを行っていても、トロリー側の接地が不十分だと、すべての絶縁処理が無駄になってしまいます。ヒーターが輸送用の電子機器から分離されているようにするために、明確な配線図を用意しています。これにより、EMIがセンサーに漏れ込むのを防ぎ、データの質を維持できます。