ウェーハ加熱時の安全距離

ギャップを意識しよう：数ミリメートルがどのようにして炭素排出量を削減するか 半導体工場で炭素ニュートラルを達成するためには、ウェーハを加熱する際に無駄に消費されるエネルギーについて考えなければなりません。ほとんどの工場では、依然として古い方式の装置が使われており、それらはまるで部屋全体を温めるヒー...