クリーンルーム内で使用するヒーターを安全に保つために（そしてウエハーを損傷から守るために） 半導体製造のクリーンルームでは、ミスの余地は一切ありません。輸送用トロリー用のヒーターを製造する際には、単に温度が均一かどうかだけでなく、電気的な漏れも懸念されます。わずかなアークや絶縁体の劣化があれば、大...

もう、オーブンを待っている必要はありません。なぜなら、半導体製造においては赤外線が優れているからです。 依然として、多くの半導体製造ラインで熱風を利用して物質を加熱・乾燥させているのを見かけます。これは「昔から使われてきた確実な方法」ですが、正直なところ、非常に非効率的です。 問題は、空気では熱を...

なぜファブでは赤外線加熱がホットエアより優れているのか 半導体製造において、ホットエアから赤外線加熱へ切り替えることは、単なる手段の変更に過ぎません。それは、エネルギーの利用方法を根本的に変えることです。 ホットエアの場合、空気を加熱し、その空気がウェーハを加熱するというプロセスになります。常に遅...

金メッキされた赤外線ランプ：クラス100クリーンルームに最適な清潔な加熱ソリューション 半導体エンジニアが悩んでいる問題について話しましょう。それは、必要な場所に十分な熱を供給しつつ、クリーンルームの環境を壊さない方法です。 私たちは、この問題を解決するために金メッキされた赤外線ランプを開発しまし...

ファブ内では、ホットプレートエリアでの0.5度というわずかな温度変動も「小さな偏差」とは言えません。これにより、重要な寸法が狂ったり、現像後にスカムが残ったり、フォトレジストが意図した通りに流れなくなったりします。リソグラフィーやレジスト処理において、温度は単なる背景設定ではなく、プロセスの核心部...