ウェーハの汚染を未然に防ぐ：ランプの安全性についての実際的な考察 大量生産ラインでは、ランプが壊れると大変な問題になります。しかし、石英管が破裂してしまうと、それは本当に最悪の事態です。 そのような状況になると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。これにより、生産工程が止まるだけでなく...

ファブの現場では、ソフトベイクやハードベイクの際に0.1℃の温度変動があるだけで、ウェーハの特性が変わってしまい、スカムが発生したり、歩留まりが低下したりします。従来の乾燥装置では、熱的な急変後に生じるウェーハ間の温度差や粒子の発生を抑制するのが難しいです。私たちは、このような不確実性を排除するた...

はじめに 私たちは非常に特別な理由から、短波ハロゲン赤外線ヒーターを中心にこの電気式靴乾燥機を作りました。空気の流れやホコリを気にしてはいけない場所、例えば高級なショーウィンドウや敏感な研究室向けです。その目的は？ファンもホコリもなく、熱を必要な場所に正確に届けることです。 製品の心臓部 コアには...