クリーンルーム内で使用するヒーターを安全に保つために（そしてウエハーを損傷から守るために） 半導体製造のクリーンルームでは、ミスの余地は一切ありません。輸送用トロリー用のヒーターを製造する際には、単に温度が均一かどうかだけでなく、電気的な漏れも懸念されます。わずかなアークや絶縁体の劣化があれば、大...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もしクラス100（ISO 5）の環境を維持しているのであれば、粒子数の測定結果が悪くなるという問題をご存知でしょう。最悪なのは、加熱要素から剥離した微粒子や有害ガスがワークピースに付着してしまうことです。一般的な抵抗式ヒーターは、このような...

より効率的な硬化方法：ベンチ上での赤外線ランプの利用 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その手順はよく知っているでしょう。部品を乾燥させ、硬化させる必要がありますが、その際に汚れを作ったり、電力消費を増やしたりしてはいけません。 多くの場合、強制送風や化学溶剤が使われますが、私たちはも...

なぜ私たちはファブで赤外線硬化を採用するのか？ 現代の生産ラインに合わせてクリーンルームの設備をアップグレードする際、常にジレンマに直面します。無鉛化や環境に優しい技術を実現する必要がありますが、その過程で生産効率が低下してはいけません。 多くの人々はまず対流式のオーブンから始めます。しかし問題は...

リソグラフィーの工程において、ソフトベイク時の温度均一性は単なる望ましい条件ではありません。それは製品品質を左右する重要な要素です。ウェーハ全体で1℃の温度差が生じるだけで、CDの精度が悪化し、フォトレジストに欠陥が生じます。私たちは、このような変動を根本的に解消するために、クリーンルーム用の赤外...

冬になると、小さな部屋が冷たい空間に変わってしまい、空気がその場に留まったままになります。どんなに厚着をしても、手や足は依然として寒さを感じます。一般的なヒーターは暖かい空気を部屋中に循環させるため、快適さが得られるのに時間がかかります。 技術的に見て重要な点 赤外線式の小型ヒーターは、空気を先に...

はじめに この赤外線ヒーターのコンセプトはこうです。リビングルーム向けに設計しましたが、産業用機器と同等の耐久性を備えています。 目的は？速やかに必要な方向に暖かさを届け、かつ設置スペースを大きく取らないことです。ハロゲン素子からコネクタに至るまで、すべての選択は以下の3点に集約されます。動作する...