ステンレス鋼製ヒーターハウジング製造

ガラスの破片を防ぐ：IRランプをより効果的に扱う方法 高負荷のファブでは、IRランプが壊れると大変なことになります。単に稼働停止だけでなく、ガラスの破片やフィラメントがウェーハに降り注ぎ、すぐに廃棄物がたまってしまいます。その場合、チャンバーの清掃に多大な時間がかかります。 私たちは、もっと良い方...