リソグラフィーの工程において、ソフトベイク時の温度均一性は単なる望ましい条件ではありません。それは製品品質を左右する重要な要素です。ウェーハ全体で1℃の温度差が生じるだけで、CDの精度が悪化し、フォトレジストに欠陥が生じます。私たちは、このような変動を根本的に解消するために、クリーンルーム用の赤外線ヒーターを開発しました。
技術的に重要な点 短波長の赤外線がウェーハに直接作用するため、設定した温度にすぐに到達します。ベイク領域内でのウェーハ表面の温度均一性は±0.1℃以内を保ち、再現性も非常に高いです。ヒーター本体はクラス1～100のクリーンルームで使用できるように設計されており、密封された接続部と、粒子の発生を防ぐための露出したフィラメントがありません。5,000時間以上使用しても、出力の低下は5％未満です。
フォトレジストの処理においては、不十分な温度制御は許されません。当社の赤外線ヒーターは、ソフトベイクおよびハードベイクの両方に適した温度プロファイルを実現し、迅速に冷却することで、サイクルタイムを短縮し、生産性を向上させます。また、チャンバーの壁ではなくウェーハ自体を加熱するため、エネルギー消費も削減されます。その結果、再作業の必要が少なくなり、CDの分布もより均一になり、シフトごとに安定したベイク性能が得られます。
設置時には、オーブンの形状や電力供給の仕様に合わせて準備する必要があります。私たちは、システムの統合を容易にするためのインターフェース図や校正曲線を提供します。また、クリーンルームでの使用に適した電気接続を確認し、ウェーハを扱うロボットの動作範囲も確認してください。これらのヒーターはSECS/GEMホストと互換性がありますが、固定温度制御ではなく、レシピに基づいた温度制御を希望する場合は、専用のコントローラーが必要です。