利用红外线技术降低MEMS器件干燥过程中的碳排放 在制造MEMS传感器时，如何去除晶圆上的水分是一项极其复杂的任务。虽然需要将水分去除，但又不能直接用高温来处理，因为那样会导致整个晶圆变形。 因此，我们使用短波红外线灯。红外线不会加热空气或房间内的其他物品，而是直接作用于水分子，从而实现精准的加热...

确保晶圆加热器不会发生故障 在制造晶圆加热器时，我们会非常注重其热性能参数。但说实话，如果电气绝缘层出现故障，那么所有的精确控制都毫无意义了。 加热元件上的哪怕一点点漏电，都可能毁掉控制器，甚至让整批硅材料报废。这真是糟糕至极的情况。因此，我们不会采用“随机抽样”的方式来检测产品。在产品离开工厂之...

注意间距：几毫米的差距如何帮助减少碳足迹 如果我们要真正实现半导体制造过程中的碳中和目标，那就必须考虑在晶圆加热过程中被浪费的能量。目前，大多数工厂仍在使用旧式的加热系统，这些系统实际上只是起到了为整个房间供暖的作用而已。 改用短波红外灯确实能有所帮助。不过，真正的节能效果取决于一个关键因素——那...

别再浪费能量在晶圆固化上啦！ 在晶圆固化过程中，每一瓦特的能量浪费都相当于白白浪费金钱，同时还会增加污染的风险。 想想看，固化灯会向360度方向散发热量，而晶圆只位于灯的一侧。这意味着有一半的能量被用来加热灯后面的空气，完全是浪费。 我们通过使用镀金反射器来解决这个问题。这些反射器可以将那些向后散...

别再凭猜测来判断晶圆的温度了 如果你想打造一个“智能芯片制造厂”，那么你肯定已经意识到，等到问题出现后再去处理简直是一场噩梦。你必须能够实时了解当前的情况。 不过，对于晶圆检测来说，有个难题：你不能直接在晶圆上安装热电偶，因为那样会污染整批晶圆，或者导致晶圆变形。所以，这种做法是不可行的。 因此，...

在加热易燃化学品时，如何确保安全？ 说实话，让晶圆在化学溶液中加热确实是一件令人紧张的事。当处理那些易挥发的易燃溶剂时，风险极高。哪怕有一丁点火花或灯光在不当时刻亮起，都可能引发爆炸。这真是个可怕的情景。 因此，我们不会直接使用普通灯泡——而是给它们加上保护外壳。我们将电路部分与其他部分隔离开来，...

在晶圆加工过程中，无论是软烘还是硬烘，只要温度变化达到0.1°C，就足以导致CD值的偏差、表面出现杂质，进而影响成品率。传统的干燥设备无法有效应对热冲击后出现的晶圆表面温度不均以及颗粒问题。我们设计的这款晶圆干燥机正是为了解决这些不确定因素而打造的。 核心优势 通过使用石英隔离舱内的短波红外发射器...

在晶圆厂车间，持续24/7运行的光刻生产线对热漂移没有任何容忍度。将软烘烤温度偏离目标仅2°C，光刻胶的剖面即会发生变化。关键尺寸控制开始失效，良率受到影响，计划调度被迫临时停止。在大批量光伏硅片加工过程中，热预算不仅仅是一个指导原则——它就是整个工艺的基础。 核心技术要点 我们基于可重复的温度控...

在300mm生产线上，软烘和硬烘不仅仅是热处理步骤——它们是良率关卡。如果你的红外加热不均匀，就会出现线宽变化、边缘珠和清洗后残留的杂质。你无法通过检测来解决这个问题。必须从源头上修正温度曲线。 技术要点 我们基于短波红外构建了300mm晶圆红外加热器，配备了工程反射器和闭环分区控制。这能实现晶圆...