应用材料设备用红外灯

在晶圆处理过程中，90°C的低温烘烤并非仅仅是一个温度数值而已——它实际上决定了线宽控制的精度。如果温度偏差超过半度，那么产生的印刷缺陷只有在显影之后才会显现出来。为此，我们为应用材料公司的设备配备了红外灯，以将这种温度偏差控制在可接受范围内。 从技术层面来看，重要的是什么？ 所谓的关键在于短波红...