别再凭猜测来判断晶圆的温度了 如果你想打造一个“智能芯片制造厂”，那么你肯定已经意识到，等到问题出现后再去处理简直是一场噩梦。你必须能够实时了解当前的情况。 不过，对于晶圆检测来说，有个难题：你不能直接在晶圆上安装热电偶，因为那样会污染整批晶圆，或者导致晶圆变形。所以，这种做法是不可行的。 因此，...

在光刻生产环节中，人们很快就能掌握其中的要领：在光阻烘烤过程中，哪怕只有半度的温度偏差，都足以导致关键尺寸发生变化，从而使大量产品变为废品。因此，我们设计了高精度温度控制器，以确保在软烘烤和硬烘烤过程中，晶圆表面的温度始终保持在±0.1°C的范围内。 本质上，最重要的就是控制精度、重复性以及保持生...