确保晶圆加热器不会发生故障
在制造晶圆加热器时，我们会非常注重其热性能参数。但说实话，如果电气绝缘层出现故障，那么所有的精确控制都毫无意义了。
加热元件上的哪怕一点点漏电，都可能毁掉控制器，甚至让整批硅材料报废。这真是糟糕至极的情况。因此，我们不会采用“随机抽样”的方式来检测产品。在产品离开工厂之前，我们都会对每一个产品进行高压耐压测试和绝缘电阻测试。
我们的具体检测方法
我们会对加热元件与接地底盘之间施加远高于正常使用时的高压，以此检测是否存在绝缘层破裂的情况。如果陶瓷涂层上有孔洞，或者端子的连接不牢固，电流就会上升。我们会在问题出现之前就发现它们，而不是等到加热器在设备中运行50次之后才发现问题。
为什么我们要如此严格
如果你曾经尝试过排除真空腔内的短路问题，就会知道那有多麻烦。这类问题真的让人抓狂。通过测量绝缘电阻值，我们可以确保绝缘层足够坚固。如果某个加热器未能通过高压耐压测试，那它就会被直接当作废品处理。因为无法修复有缺陷的绝缘层，要么它就是安全的，要么就是不可用的废品。
需要考虑的权衡
这里其实存在一定的平衡问题。如果我们提高绝缘标准，就需要使用更厚的绝缘层。这样虽然能提升安全性，但也会增加元件与晶圆之间的热量传导阻力。所以，我们需要找到安全性与速度之间的最佳平衡点，以适应具体的应用场景。
我们会为每个产品的序列号提供测试报告，这样您就能在产品到达仓库之前就了解其绝缘性能如何。