MEMS传感器晶圆干燥加热器

利用红外线技术降低MEMS器件干燥过程中的碳排放 在制造MEMS传感器时，如何去除晶圆上的水分是一项极其复杂的任务。虽然需要将水分去除，但又不能直接用高温来处理，因为那样会导致整个晶圆变形。 因此，我们使用短波红外线灯。红外线不会加热空气或房间内的其他物品，而是直接作用于水分子，从而实现精准的加热...