晶圆加热的安全距离

注意间距：几毫米的差距如何帮助减少碳足迹 如果我们要真正实现半导体制造过程中的碳中和目标，那就必须考虑在晶圆加热过程中被浪费的能量。目前，大多数工厂仍在使用旧式的加热系统，这些系统实际上只是起到了为整个房间供暖的作用而已。 改用短波红外灯确实能有所帮助。不过，真正的节能效果取决于一个关键因素——那...