轧钢厂加热解决方案

在制造车间，光刻胶烘烤过程中0.3°C的漂移不仅仅是对规格的风险——它直接超出了规格。这不是一次近乎失误，而是报废。我们为半导体制造的零容忍现实构建了加热解决方案，在这种情况下，热预算是固定的，计划外停机会影响晶圆的开工。 背后的关键因素 我们将短波红外发射器与基于石英的热管理相结合，以在烘烤表面...