熱の無駄遣いをやめよう：IR漏れを解決する簡単な方法 半導体製造工場では、熱というものは非常に扱いにくいものです。高出力のIRランプを使用すると、そのエネルギーの多くが無駄に散逸してしまいます。ウェーハには届かず、代わりに内壁で跳ね返り、高価な機械の筐体が巨大なラジエーターのように機能してしまいま...

可燃性化学物質を加熱するときの安全対策 正直言って、化学液にウエハーを浸して加熱するのはとても危険な作業です。揮発性で可燃性の高い溶剤を扱う際には、失敗すれば大惨事につながります。ちょっとした火花や、不適切なタイミングで点灯する照明器具だけで、爆発のリスクが生じます。まさに悪夢のような状況です。...

ゼロ汚染のIR加熱装置の設計方法 クラス100のクリーンルームを運用している方なら、標準的な加熱要素では不十分であることをご存知でしょう。 これらの加熱要素は微細な粒子を放出したり、安価な材料から有害物質が発生したりします。これは許容できないリスクです。 そこで私たちが行ったのは、セラミック製のエ...