リソグラフィーの工程において、ソフトベイク時の温度均一性は単なる望ましい条件ではありません。それは製品品質を左右する重要な要素です。ウェーハ全体で1℃の温度差が生じるだけで、CDの精度が悪化し、フォトレジストに欠陥が生じます。私たちは、このような変動を根本的に解消するために、クリーンルーム用の赤外...

Role ファブフロアにおいて、フォトレジストのベイクは単なるウォームアップではなく、厳格なプロセスの境界である。 ソフトベイクやハードベイクで数度の温度誤差が生じると、クリティカルディメンションの管理が崩壊し、エッチングに到達する前にラインがウェーハをリジェクトし始める。そのため、真空オーブンの...