ゼロ汚染のIR加熱装置の設計方法 クラス100のクリーンルームを運用している方なら、標準的な加熱要素では不十分であることをご存知でしょう。 これらの加熱要素は微細な粒子を放出したり、安価な材料から有害物質が発生したりします。これは許容できないリスクです。 そこで私たちが行ったのは、セラミック製のエ...

製造現場において、PECVDチャンバー内の温度分布こそが、成膜プロセスの結果を決定づける要素です。もしエミッターの動作が不安定になれば、すぐにそれが分かります。フィルムの応力や厚さの均一性、粒子数なども同様に影響を受けます。私たちは、現代の半導体製造に求められる厳しい熱管理要件を満たすために...