MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

IRを利用したMEMS乾燥処理における炭素排出の削減 MEMSセンサーを製造する際、ウェハ上の水分を除去するのは非常に難しい作業です。水分を取り除く必要はありますが、単純に熱を当てると、ウェハ全体が変形してしまいます。 そこで、私たちは短波長の赤外線ランプを使用します。赤外線は、部屋の空気や壁など...