UHP 超純度 ヒーターランプ

シャワー効果を防ぐ：ランプが故障した時でもウェーハを清潔に保つ方法 高負荷の半導体製造環境では、ランプが破壊されるのは単なる「技術的なトラブル」や一時的な停止に過ぎません。それはまさに悪夢です。 石英管がウェーハのすぐ上で割れてしまったと想像してみてください。瞬時に大量の微粒子が飛び散り、一度に多...