太陽光発電用シリコンウェーハヒーター

Fab現場において、24時間365日稼働するリソグラフィラインでは熱ドリフトに対する余裕は一切ない。ソフトベイクの設定温度をわずか2℃ずらすだけで、フォトレジストのプロファイルが変化する。クリティカルディメンション（CD）制御が緩み、歩留まりが低下し、スケジューラは予期せぬ停止を余儀なくされる。大...