MEMS製造赤外線ヒーター

ファブフロアでの温度ドリフト フォトレジストのベーキング中の温度ドリフトは、単なる学術的な演習ではありません。それはライン幅の変動、接着不良、そしてスクラップビンに入るウエハとして現れます。MEMSでは、熱的予算が厳しく膜が薄いため、0.5℃の逸脱で歩留まりを失う可能性があります。サイクルごとに設...