バイオセンサーの機器が過熱するのを防ぎましょう。
バイオセンサーを作る際には、適切な温度管理が何よりも重要です。しかし、一般的な赤外線ランプには問題があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうという点です。
狭い半導体製造装置の中では、その熱は意図した場所には行かず、内部の壁に当たってしまいます。そうなると、「熱い壁」ができてしまい、大変なことになります。作業員が火傷を負ったり、高価な装置が変形してしまったりします。最悪です。
私たちが用いる解決策
私たちは、指向性のある赤外線技術を利用してこの問題を解決しています。単に石英管を使うだけではなく、反射板や特殊な放射体を加えることで、熱エネルギーを目的の場所に集中させます。これは、電球の代わりに懐中電灯を使うようなものです。そうすれば、熱エネルギーがウェーハ上に集中し、装置のケースには熱が伝わりません。結果として、ウェーハ上に必要な熱密度が得られ、他の部分は高温になりません。
冷却効率が向上し、作業員も快適に
熱が一方向にしか移動しないため、冷却ファンの負担も大幅に軽減されます。
これが最良の点です。製造温度を上げても、装置の外側は触っても冷たいままです。もし作業員が一日中装置の中に手を入れ続けなければならないとしたら、それは「便利」というだけではなく、必須条件です。
注意点（常にあるものです）
しかし、これらのランプも完璧な解決策ではありません。光が非常に集中するため、局所的に高温になってしまいます。
もしウェーハが中心からずれていたり、コンベヤーベルトが少しでもずれていたりすると、センサー全体に不均一な加熱が起こります。重要なのは焦点距離です。近すぎると端が焼けてしまい、遠すぎると遮蔽効果がなくなってしまいます。
取り付けブラケットを固定する前に、ぜひ熱分布を把握しておきましょう。そうすれば、後で苦労することが少なくなります。