壊れたランプがウェハの歩留まりを台無しにするのを防ごう
高負荷の製造環境では、1つのランプが壊れるだけで、その日の作業が台無しになってしまいます。これは本当に悪夢のような状況です。石英管が破裂すると、作業場がガラスの破片や化学物質で覆われてしまいます。単に機械の稼働停止だけでなく、シリコンウェハ全体が廃棄処分になってしまうのです。
私たちは、このような事態を防ぐために、特別な赤外線硬化ランプを開発しました。
「パンク」現象の対処法
まず、高純度の融合石英を使用します。なぜかというと、温度が急激に変動しても安定しているからです。
しかし、それだけではありません。さらに、「破片を閉じ込めるコーティング」を施しています。これはまるで安全網のようなものです。フィラメントが壊れて管が割れても、このコーティングによって破片がその場に留まります。そうすれば、ウェハに破片が当たることはありません。
熱とホットスポット
高出力を使う場合、ホットスポットが問題になります。熱が均等に分布しないと、管がすぐに壊れてしまいます。
これを解決するために、フィラメントを正確に中央に配置しています。一見些細な点のように思えますが、これによって管全体に均一な熱が行き渡ります。
ちなみに、電源を確認してください。電圧がランプの仕様に合っていないと、電流が急上昇してしまいます。それは石英管を壊す原因になります。
妥協点（完璧なものはない）
私たちは標準的なコネクタを使用しているため、ほとんどの硬化装置に簡単に取り付けられます。
ただし、その保護コーティングによって、少し赤外線が遮断されてしまいます。その結果、熱量が3～5％減少することがあります。
しかし、サイクルタイムについては心配する必要はありません。出力を上げることで補うことができます。ウェハの硬化は以前と同じように行われます。ただし、冷却システムがその余分な熱に対応できるかを確認してください。