クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームを運営していると、わずかなミスが全てを台無しにしてしまうことがあります。わずかな粒子や化学物質の蒸気だけで、生産効率が急激に低下してしまいます。
問題は、一般的なヒーターではこのような環境に適応できないということです。加熱や冷却の際に微細な汚れが漏れ出したり、オゾンが発生したりします。これは本当に厄介な問題です。
そんな理由から、私たちは高純度の合成石英を使った赤外線ランプを使用しています。オゾンが発生しないように特別に設計されています。
オゾンの問題
オゾン（$\text{O}_3$）は、短波長のUV放射が空気中の酸素と反応して生成されます。クリーンルームでは、このガスは大敵です。敏感なウェーハを損傷させたり、有機材料を壊してしまったりするからです。
私たちは、フィラメントのスペクトル出力を調整し、高純度の石英ケースを使用することで、オゾンの発生を未然に防いでいます。
高温に耐えられる構造
私たちは、軟化点が高い融結シリカ石英を使用しています。これにより、ランプが非常に高温になっても歪んだり、異常なガスが放出されたりすることはありません。
安価なランプでは、導線が石英管に接続されている部分が弱く、そこから漏れが起こります。私たちは特別な真空封止処理を施すことで、どんな状況でも何も漏れ出さないようにしています。
注意すべき点
これらのランプは、既存のヒーターの代替品として最適です。空気の質を気にすることなく、必要な熱量を得ることができます。
しかし、代償もあります。高純度の石英は、通常使われているホウケイ酸ガラスよりももろいのです。機械が激しく振動したり、固定具が緩んでいると、石英管が割れてしまう可能性があります。
必ず、装置をしっかり固定し、配線もしっかりとしているようにしてください。そうすれば、早期の故障を避けることができます。
私たちは、「清潔さ」を単なる目標ではなく、最も重要な要素と考える人々のためにこれらのランプを製造しています。安定して信頼性の高い熱源を提供し、邪魔にならないようにしています。