機械の加熱をやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。
半導体ウェーハを洗浄する際には、熱が必要です。しかし、一般的なヒーターの問題点は、エネルギーがあらゆる方向に散ってしまうことです。これでは、装置の内壁が巨大なスポンジのようになり、結果としてキャビネットの外側が非常に高温になります。これは作業員にとって危険な状況です。また、不要な金属部品を加熱するために電力を無駄に消費してしまいます。
私たちは、指向性のある赤外線ランプを使用することでこの問題を解決しました。
鍵は焦点にあります
これは、電球と懐中電灯の違いに似ています。通常のヒーターでは熱があちこちに散らばりますが、これらのランプでは反射板や特殊なコーティングを利用してエネルギーを一直線に送ります。その結果、熱は目的の表面に集中し、そこに留まります。そうすれば、「余計な熱」と戦う必要がなく、エネルギーをウェーハに集中させることができます。そして、機械の表面は触っても冷たくなります。
飛沫が跳ねる場所に最適
洗浄ステーションは常に湿っています。普通のランプを使ったら、すぐに故障したり焼損したりします。そのため、私たちは防水処理が施されたコネクタを使用しています。また、石英製のケースも湿度や有害な化学物質に耐えられるように加工されています。
熱流についての注意点
ここにはトレードオフがあります。機械の他の部分は冷たく保たれますが、少量の領域に大量のエネルギーが集中します。注意が必要です。もし材料がそのような局所的な熱に耐えられない場合、変形してしまう可能性があります。タイミングも重要です。数秒でもズレると、ウェーハが過熱する危険があります。ですから、正確に操作する必要があります。
設置方法
最良の点は、一度切り替えれば、キャビネットが溶けないように大規模な冷却ファンを使う必要がなくなることです。電気代も削減でき、作業員の安全も確保できます。
配線時の一つのアドバイス：正確に位置合わせを行ってください。
反射板が5度でもずれると、熱が集中する場所が変わってしまいます。そうなると、再びキャビネットの壁が加熱されてしまいます。念のため、十分に時間をかけて正確に位置合わせをしてください。