省エネ型ウェーハヒーター

ウェーハヒーターが爆発しないようにするために ウェーハヒーターを製造する際、私たちは熱的許容範囲について細かく注意を払います。しかし正直なところ、電気的絶縁が壊れてしまえば、どんなに精密に作っても意味がありません。 ヒーター部分にわずかな漏れがあっただけで、コントローラーが破損したり、一度に大量の...