高精度温度加热器

在光刻生产环节中，人们很快就能掌握其中的要领：在光阻烘烤过程中，哪怕只有半度的温度偏差，都足以导致关键尺寸发生变化，从而使大量产品变为废品。因此，我们设计了高精度温度控制器，以确保在软烘烤和硬烘烤过程中，晶圆表面的温度始终保持在±0.1°C的范围内。 本质上，最重要的就是控制精度、重复性以及保持生...