别再凭猜测来判断晶圆的温度了 如果你想打造一个“智能芯片制造厂”，那么你肯定已经意识到，等到问题出现后再去处理简直是一场噩梦。你必须能够实时了解当前的情况。 不过，对于晶圆检测来说，有个难题：你不能直接在晶圆上安装热电偶，因为那样会污染整批晶圆，或者导致晶圆变形。所以，这种做法是不可行的。 因此，...

在晶圆处理过程中，90°C的低温烘烤并非仅仅是一个温度数值而已——它实际上决定了线宽控制的精度。如果温度偏差超过半度，那么产生的印刷缺陷只有在显影之后才会显现出来。为此，我们为应用材料公司的设备配备了红外灯，以将这种温度偏差控制在可接受范围内。 从技术层面来看，重要的是什么？ 所谓的关键在于短波红...