高能效晶圆加热器

确保晶圆加热器不会发生故障 在制造晶圆加热器时，我们会非常注重其热性能参数。但说实话，如果电气绝缘层出现故障，那么所有的精确控制都毫无意义了。 加热元件上的哪怕一点点漏电，都可能毁掉控制器，甚至让整批硅材料报废。这真是糟糕至极的情况。因此，我们不会采用“随机抽样”的方式来检测产品。在产品离开工厂之...