在光刻工艺中，烘烤温度的均匀性并非可有可无的参数，而是决定产品合格率的关键因素。如果晶圆表面的温度出现1°C的波动，就会影响光刻胶的固化效果，进而导致缺陷的产生。因此，我们特意设计了适用于1级至100级洁净室的红外加热器，通过密封结构来避免颗粒物的产生，从而确保温度的稳定性。 从技术层面来看，短波...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是简单的预热过程，而是一个严格的工艺边界。 软烘烤或硬烘烤阶段温度偏差几度，关键尺寸控制就会崩溃。线体在蚀刻前就开始拒收晶圆。这就是为什么真空炉加热元件必须保证整个腔体、整个批次乃至每周的热均匀性。 技术要点 我们制造的加热元件符合晶圆厂级别的热控要求。在加热区内保持温度...