我们如何实现无污染的红外加热效果？ 如果您在运行100级洁净室，那么您应该已经知道：普通的加热元件根本无法满足要求。因为它们会释放出微小的颗粒物，还会从廉价材料中释放出有害气体。这些都是不可忽视的风险。 因此，我们的解决方案是：将红外发射器设计在陶瓷端盖之中。这样一来，电气连接部分就远离了洁净区域...

在PECVD反应室中，内部的温度分布状况决定了薄膜的质量。一旦发射器出现异常，就能立即察觉到——因为薄膜的应力、厚度均匀性以及颗粒数量都会受到影响。我们设计的PECVD加热红外发射器能够满足现代制程对温度控制的要求，因此可以轻松替代您现有的国际品牌设备。 其核心在于使用短波红外线，这种红外线能够直...