用于半导体加热器的热电偶

在芯片制造工厂中，加热区域出现半度的温度偏差其实并非“微小的误差”。这种偏差会导致关键尺寸出现偏差，显影后还会形成杂质，同时光阻材料也无法按照预期方式流动。在光刻和光阻处理过程中，温度并非一个无关紧要的参数——它本身就是整个工艺流程中的关键因素。 从技术角度来说，什么才是最重要的？ 我们为半导体加...