Stop de scherven: een betere manier om IR-lampen te gebruiken in fabrieken voor het vervaardigen van wafers
In een fabriek met hoge belasting is een defecte lamp een nachtmerrie. Het gaat niet alleen om de stilstand die dit met zich meebrengt. Wanneer een standaard kwartsbuis kapotgaat, is dat net alsof er een granaat ontploft – er gaan dan glasscherven en chemische stoffen overal op de wafers terechtkomen.
Daarom hebben we lampen met twee buizen ontworpen, die bedekt zijn met goud. We wilden deze kans op secundaire besmetting voorkomen, nog voordat deze kan optreden.
Waarom twee buizen en goud?
Eén buis kan hotspots veroorzaken. Dit zorgt voor veel spanning op het kwarts. Door twee buizen te gebruiken, wordt deze thermische belasting verdeeld. Hierdoor stijgt de maximale temperatuur van het glas niet te veel, waardoor de lamp minder onder druk komt te staan.
En het goud? Dat is er niet alleen voor het uiterlijk. Het fungeert als spiegel. In plaats van dat de warmte terugkeert naar de lampenhuizing, wordt de IR-straling rechtstreeks richting de wafers gestuurd. Hierdoor krijg je meer warmte waar het nodig is, terwijl de lamp zelf koeler blijft. Dit voorkomt dat het kwarts zacht of kapotgaat tijdens intensieve gebruikssituaties.
Het behouden van vuiligheid en veiligheid
We hebben veel tijd besteed aan de afsluitingen en de coating, want daar gebeuren vaak problemen. De goudlaag fungeert als fysiek schild. Als er een kleine barst ontstaat, helpt de coating om de halogengas nog wat langer vast te houden. Hierdoor wordt een potentiële ‘explosie’ omgezet in iets wat gemakkelijker te beheersen is.
Maar let op: geen enkele lamp is ondoordringbaar. Er is nog steeds een sterke bescherming nodig. En nog een waarschuwing: als je de vermogenssterkte verhoogt zonder voldoende luchtcirculatie, kunnen je connectoren beschadigd raken. Om dit te voorkomen, gebruiken we terminalen die bestand zijn tegen hoge temperaturen, zodat je kabels niet smelten tijdens 24/7 gebruik.
De nadelen
Goud is natuurlijk niet goedkoop, dus deze lampen zijn duurder dan lampen met gewoon kwarts. Bovendien verandert het emissiespectrum iets. Je zult waarschijnlijk je PID-regelaars moeten aanpassen, omdat de reflectie ervoor zorgt dat de opwarmtijd sneller is. Als je koelsysteem al onder druk staat, kan deze reflectie nog meer druk op het systeem uitoefenen.
Het is wat meer werk in het begin, maar het is beter dan het schoonmaken van glasscherven van de wafers.