Eenzijdig verwarmende waferdroger
Op de productielijn is een verschil van 0,1°C tijdens het zachte of harde drogen voldoende om problemen te veroorzaken, zoals oneffenheden op het...
Uniforme warmte voor 300 mm wafer IR
Op een 300mm-lijn zijn soft bake en hard bake niet slechts thermische stappen—het zijn opbrengstvoeten. Als de IR-verwarming niet uniform is, ziet u...