Temperatursensor voor wafergereedschap
Stop met gissen naar de temperatuur van de wafers Als je probeert een “Smart Fab” op te zetten, heb je vast al gemerkt dat reageren op problemen...
Infraroodlamp voor Applied Materials apparaat
Op de wafervloer betekent een temperatuur van 90°C geen simpel getal – het is eerder een soort ‘thermisch budget’ voor het beheersen van de...