Stop met het verwarmen van de machine en begin in plaats daarvan de wafers te verwarmen.
Wanneer je halfgeleiderwafers spoelt, heb je warmte nodig. Het probleem met de meeste standaardverwarmers is dat ze energie in alle richtingen verspreiden. Dit zorgt voor veel problemen: de binnenmuren van de apparatuur worden als het ware ‘grote sponsen’ voor warmte. Hierdoor wordt de buitenkant van de apparatuur zo heet dat het zelfs gevaarlijk kan zijn voor de mensen die ermee werken. Bovendien moet je nog steeds elektriciteit betalen om metalen onderdelen te verwarmen die dit niet nodig hebben.
We hebben dit opgelost door richtingsgebonden infraroodlampen te gebruiken.
Het geheim zit in de focus
Stel je eens voor hoe verschillend een gloeilamp en een zaklamp zijn. In plaats van dat de warmte overal naartoe gaat, gebruiken deze lampen reflectoren en speciale coatingen om de energie rechtstreeks op het doelwit te richten. De warmte komt precies op het gewenste oppervlak terecht. Hierdoor hoef je geen rekening te houden met ‘ongewenste warmte’. De buitenkant van de apparatuur blijft koel aan het voelen.
Gemaakt voor gebieden waar het vochtig is
Spoelstations zijn nat. Als je er een standaardlamp plaatst, zal deze snel kapotgaan. Daarom gebruiken we waterdichte sluitingen en connectors die geen last hebben van vocht. We behandelen ook de kwartsbekleding zodat deze bestand is tegen vocht en schadelijke chemische stoffen.
Let op de hitteflux
Er is echter een nadeel: terwijl de rest van de machine koel blijft, wordt er veel energie gericht op een klein gebied. Je moet dus voorzichtig zijn. Als het materiaal deze concentratie hitte niet aankan, kan het beschadigen. Tijd is hierbij cruciaal: als je maar een paar seconden te laat bent, riskeer je dat de wafer oververhit raakt. Het is dus belangrijk om precies te werken.
Instellen
Het goede nieuws is dat je na deze verandering geen grote koelventilatoren meer nodig hebt om de apparatuur koel te houden. Je energiekosten dalen, en het werkplek wordt veiliger voor de mensen die er werken.
Eén tip bij het installeren: zorg ervoor dat alles goed uitgelijnd is. Als de reflector zelfs maar 5 graden scheef staat, verschuift de hittebron. Dan verwarm je weer de wanden van de apparatuur in plaats van de wafers. Neem de tijd om alles goed uit te lijnen.