Temperatursensor voor wafergereedschap
Stop met gissen naar de temperatuur van de wafers Als je probeert een “Smart Fab” op te zetten, heb je vast al gemerkt dat reageren op problemen...
Hogeprecisietemperatuurverwarmer
Op de afdeling voor lithografie moet je snel leren: een verschil van een halve graad tijdens het verhitten van de fotoresistent is al voldoende om de...