Op de wafervloer betekent een temperatuur van 90°C geen simpel getal – het is eerder een soort ‘thermisch budget’ voor het beheersen van de lijndikte. Als de oplosmiddelen in de fotoresist met een halve graad worden verplaatst, zorgen deze defecten voor problemen die pas na het ontwikkelen zichtbaar worden. We hebben dus een infraroodlamp ontworpen voor de apparaten van Applied Materials, zodat deze afwijkingen op de bron kunnen worden tegengegaan.
Wat technisch gezien belangrijk is: Het gaat om kortegolf-infraroodlicht dat is afgestemd op de absorptie van de fotoresistlaag. De echte vereiste is thermische uniformiteit: ±0,1°C over het oppervlak van de wafer tijdens het bakken. Dit wordt gemeten met gekalibreerde thermocoupons onder invloed van procesgassen. De kwartsomhulling en keramische onderdelen zijn geschikt voor gebruik in schone ruimtes en zijn ontworpen voor gebruik in klassen 1–100, zonder dat er partikels worden geproduceerd wanneer alles in balans is.
De herhalbaarheid van de uitkomsten blijft binnen 1% na meer dan 5.000 uur gebruik. Hierdoor blijft de lijndikte consistent, batch na batch.
Waarom dit belangrijk is: De apparaten van Applied Materials werken met zeer precieze thermische cycli. Het verwerken van fotoresist is gevoelig voor de snelheid van temperatuurveranderingen. De lamp kan eenvoudig in de bestaande kamer worden geplaatst, zonder dat de mechanische interface verandert. De controlefuncties zijn snel genoeg om de temperatuur stabiel te houden tijdens het wisselen van gassen en bij het openen/sluiten van de deur.
Hierdoor zijn er minder herwerkingsacties nodig, waardoor de opbrengst verbetert. Bovendien wordt er minder energie verbruikt, omdat de lamp alleen wordt gebruikt wanneer dit nodig is. Wanneer het thermische profiel stabiel blijft, kan het proces efficiënter worden uitgevoerd.
De praktische details: De lamp werkt met standaard aansluitingen van Applied Materials. U moet echter nog steeds controleren welke aansluitingen en bevestigingsmiddelen nodig zijn, afhankelijk van uw apparaat en de configuratie van de kamer.
Voer eerst een kort testproces uit om de temperatuur te meten en de gewenste instellingen vast te stellen. In ruimtes met hoge luchtvochtigheid moet u ervoor zorgen dat de koelingslijnen droog blijven. Condensatie kan de apparatuur stoppen. Eenmaal ingesteld hoeft de lamp niet meer te worden gecalibreerd, behalve voor de gebruikelijke controles van de sensoren.