Bij het drogen van katalysatoren gaat het niet om een simpele formaliteit – het gaat om een proces dat veel warmte vereist. Hierdoor kan de opbrengst ernstig worden aangetast. Convectieovens veroorzaken ongelijkmatige warmtestromen; hete platen zorgen voor verschillende temperaturen op het oppervlak van de wafer. Dit leidt tot ongelijke concentraties katalysator, kleine gaten en andere defecten die zich voordoen wanneer de wafer wordt gebruikt in het verbindingsproces.
We hebben een droogingslamp ontworpen die specifiek is ontwikkeld om deze problemen te verminderen. De lamp maakt gebruik van near-infraroodlicht en is vervaardigd volgens dezelfde thermische standaarden als die worden gebruikt bij het drogen van fotoresist en bij lithografie.
Wat je dagelijks nodig hebt, is controle over het proces. Het systeem bereikt snel de gewenste temperatuur met behulp van near-infraroodlicht, zonder dat er contact is met het substraat. Bovendien zijn de resultaten reproduceerbaar. De uniformiteit op het oppervlak van de wafer blijft binnen ±0,1°C binnen het verlichte gebied. De stabiele temperatuur houdt ook bij continu gebruik stand.
Het apparaat is geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1 tot 100. De materialen en sluitingen zijn zo gekozen dat er geen deeltjes worden gegenereerd tijdens het gebruik. Het apparaat werkt steeds op dezelfde manier, batch na batch.
Hetzelfde geldt voor de praktische toepassing: het apparaat verwijdert variabiliteit uit het droogingsproces. Hierdoor wordt de tijd die nodig is om de katalysator te drogen verkort, is de structuur van de katalysator beter en zijn er minder herwerkingsstappen nodig. De energieverbruik neemt af, omdat de lamp alleen het doeloppervlak verwarmt, niet de hele kamer. De betrouwbaarheid van het apparaat is 24/7 gegarandeerd, met duidelijke onderhoudsintervallen.
Een praktisch punt: near-infrarooddroging vereist dat de geometrie van het apparaat en de positie van de reflectoren goed worden gecontroleerd, zodat er geen schaduwen op het oppervlak van de wafer ontstaan. We leveren een validatiekit mee: thermocouplenmaptjes, intensiteitsprofielen en montageonderdelen die geschikt zijn voor gebruik in schone kamers. Hierdoor kunnen de eerste tests worden uitgevoerd met dezelfde resultaten als die in de specificaties staan.