IR을 이용한 MEMS 건조 과정에서의 탄소 감소 MEMS 센서를 제작할 때, 웨이퍼에 붙어 있는 수분을 제거하는 것은 매우 까다로운 작업입니다. 물기를 제거해야 하지만, 단순히 열을 가하면 전체 구조가 변형될 수 있습니다. 그래서 우리는 단파 적외선(IR) 램프를...

와이퍼 히터가 폭발하지 않도록 하는 방법 와이퍼 히터를 제작할 때는 열적 허용 오차에 많은 신경을 씁니다. 하지만 솔직히 말해서, 전기 절연이 제대로 이루어지지 않는다면 그러한 정밀도는 아무런 의미가 없습니다. 히팅 요소에 약간의 누수라도 생기면 컨트롤러가 손상될 수...

간격에 주의하라: 몇 밀리미터가 탄소 배출량을 줄이는 데 어떻게 도움이 되는가 반도체 공장에서 탄소 중립을 달성하려면, 웨이퍼를 가열하는 과정에서 낭비되는 에너지에 대해 반드시 고려해야 합니다. 대부분의 공장들은 여전히 구식 시스템을 사용하고 있어서, 마치 방 전체를...

웨이퍼를 경화할 때 발생하는 에너지 낭비를 막으세요. 웨이퍼를 경화할 때, 낭비되는 에너지는 결국 돈의 낭비일 뿐만 아니라 오염 위험도 증가시킵니다. 경화용 램프를 생각해보세요. 램프는 360도 방향으로 에너지를 방출하지만, 웨이퍼는 한쪽 면에만 있습니다. 그러니 에...

웨이퍼의 온도를 더 이상 추측하지 마세요. “스마트 팹”을 구축하려는 경우, 문제가 발생한 후에 그에 대응하는 것은 악몽과 같다는 것을 아실 것입니다. 지금 당장 무슨 일이 일어나고 있는지 알아야 합니다. 하지만 웨이퍼 측정 장비의 경우, 단순히 서브스트레이트에 서모...

가연성 화학물질을 가열할 때 안전을 지키는 방법 솔직히 말해서, 화학 용액 속에서 웨이퍼를 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 휘발성이 강하고 가연성이 높은 용매를 다룰 때는 실수 한 번만으로도 폭발이 일어날 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 그래서 우리는...

생산 라인에서는 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 온도가 0.1°C만 변동해도 웨이퍼의 품질에 악영향을 미쳐 이물질이 생기고 수율도 저하됩니다. 일반적인 건조기들은 열 변화로 인해 발생하는 웨이퍼 간 온도 차이나 입자 형성 문제를 해결하기 어렵습니다. 우리는 이...

제조 현장에서의 중요성 24시간 연속 운영되는 리소그래피 라인은 열 드리프트에 대해 여유를 주지 않습니다. 소프트 베이크 온도가 목표에서 단 2°C 벗어나기만 해도 포토레지스트 프로파일이 변화합니다. 중요 치수 제어가 느슨해지고, 수율이 저하되며, 일정 관리자는 계획...

300mm 라인에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 열처리 단계가 아니라 수율 관리 관문이다. IR 히터의 열분포가 균일하지 않으면 라인폭 변동, 에지 비드, 클리닝 후 잔류하는 스컴 현상이 발생한다. 이를 검사로 해결할 수 없다. 온도 프로파일을 근본적으로 수...